Synthesis of organooxotin clusters for the next generation EUV photoresists
유기산화주석 클러스터의 합성을 통한 신규 EUV 감광제 개발
- 주제어 (키워드) Photoresists , EUV , Photolithography , non-CAR resists , Organometallic photoresists , Inorganic photoresists , Organooxotin clusters , Cross-linkable clusters , 감광액 , EUV , 포토리쏘그래피 , 비화학적 증폭형 감광액 , 유기금속 감광액 , 무기 감광액 , 유기산화주석 클러스터 , 가교가능한 클러스터
- 발행기관 서강대학교 일반대학원
- 지도교수 문봉진
- 발행년도 2023
- 학위수여년월 2023. 2
- 학위명 석사
- 학과 및 전공 일반대학원 화학과
- 실제 URI http://www.dcollection.net/handler/sogang/000000069962
- UCI I804:11029-000000069962
- 본문언어 영어
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