유리기판용 급속 열처리 장비의 최적 구성, 제어기 설계 및 TFT 박막 열처리 공정 개발에 관한 연구
Study of Optimum Configuration and Controller Design of a Glass-Rapid Thermal Processor, and Development of Low Temperature TFT Process in the Glass-Rapid Thermal Processor
- 발행기관 서강대학교 일반대학원
- 지도교수 이광순
- 발행년도 2016
- 학위수여년월 2016. 8
- 학위명 박사
- 학과 및 전공 일반대학원 화공생명공학과
- 실제URI http://www.dcollection.net/handler/sogang/000000059857
- 본문언어 한국어
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