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나노 포지셔너 시스템의 고정밀 제어 연구 : A Study on the Controller Design for Nano-Positioning System

  • 발행기관 서강대학교 대학원
  • 지도교수 전도영
  • 발행년도 2005
  • 학위수여년월 200502
  • 학위명 석사
  • 학과 및 전공 기계공학
  • 식별자(기타) 000000081287
  • 본문언어 한국어
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