Spin-On Carbon Hard Masks from Aromatic Polymers with Enhanced Etch Resistance and Mechanical Stability
- 발행기관 서강대학교 일반대학원
- 지도교수 김상엽
- 발행년도 2025
- 학위수여년월 2025. 8
- 학위명 석사
- 학과 및 전공 일반대학원 기계공학과
- 실제 URI http://www.dcollection.net/handler/sogang/000000081903
- UCI I804:11029-000000081903
- 본문언어 한국어
- 저작권 서강대학교 논문은 저작권 보호를 받습니다.
목차
Introduction 10
2. Experimental methods 12
2.1 Materials 12
2.2 Hardmask synthesis 12
2.3 Details of curing parameters 14
2.4 Measurements 16
3. Results and discussion 17
3.1 X ray photoelectron spectroscopy(XPS) 17
3.2 Deconvolutions in the raman spectrum 19
3.3 RIE etching rate 21
3.4 Thermal stability comparison 23
3.5 Mechanical properties(Nano-indentation) 25
4. Conclusion 27
