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High-Pressure Deuterium Annealing for Trap Passivation for a 3-D Integrated Structure
Lee, Jung-Woo
,
Han, Joon-Kyu
,
Wang, Dong-Hyun
,
Yun, Seong-Yun
,
Oh, Jeong-Seob
,
Bang, Byeong-Chan
,
Cha, Won-Hyo
,
Park, Jun-Young
,
Choi, Yang-Kyu
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES
, 2024, Vol.71 No.4, 2801-2804
원문보기
발행기관
IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC
발행년도
2024
총서유형
Journal
본문언어
영어
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