금속 산화물 포토레지스트의 리간드 설계를 통한 EUV 감응도 향상 연구
Ligand Engineering for Highly Sensitive EUV Metal Oxide Photoresist
- 발행기관 서강대학교 일반대학원
- 지도교수 강문성
- 발행년도 2024
- 학위수여년월 2024. 8
- 학위명 석사
- 학과 및 전공 일반대학원 화공생명공학과
- 실제 URI http://www.dcollection.net/handler/sogang/000000079014
- UCI I804:11029-000000079014
- 본문언어 한국어
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