서강대학교

목차

1. 서론 1
1.1. 연구 배경 1
1.2. 이론적 배경 3
1.2.1. 양자점과 포토리소그래피 3
1.2.2. 리프트-오프 패터닝 기법 4
1.2.3. 다이아조기 기반의 저온 가교제를 이용한 양자점의 간접적인 광패터닝 기법 5
2. 실험 방법 7
2.1. 실험재료 7
2.2. 양자점의 패터닝 8
2.2.1. 포토레지스트의 포토리소그래피 8
2.2.2. 다이아조기 기반의 저온 가교제를 이용한 양자점의 간접적인 광패터닝 기법 9
2.2.3. 양자점의 직접적인 광패터닝 11
2.3. 양자점 전계발광소자 제작 12
2.4. 측정 및 분석 13
3. 결과 및 고찰 14
3.1. 양자점의 간접적인 광패터닝 공정을 위한 저온 가교제의 분석 14
3.1.1. 다이아조기 기반의 저온 가교제를 이용한 양자점의 간접적인 광패터닝 공정 14
3.1.2. 열처리 온도에 따른 포토레지스트 필름의 용해도 분석 16
3.1.3. 다이아조기 기반의 저온 가교제의 분석 18
3.2. 다이아조기 기반의 저온 가교제를 이용한 양자점의 간접적인 광패터닝 공정의 충실도와 두께 분석 22
3.2.1. 양자점 패턴의 충실도 분석 22
3.2.2. 양자점 패턴의 두께 분석 28
3.3. 다이아조기 기반의 저온 가교제를 이용한 간접적인 광패터닝 공정을 통해 얻은 양자점 패턴의 분석 31
3.3.1. 단색 양자점 패턴의 분석 31
3.3.2. 다색 양자점 패턴의 분석 34
3.4. 저온 가교제를 도입한 양자점 필름의 발광 특성 분석 37
3.4.1. 가교된 양자점 필름의 광발광 특성 분석 37
3.4.2. 가교된 양자점 필름의 전계발광 특성 분석 42
4. 결론 46
참고문헌 47