Supercritical CO2-계면활성제-공용매 혼합물을 이용한 BEOL/중선량 I I반도체 세정에 관한 연구 : A Study on the BEOL/Ion Implanted Wafer Cleaning by Utilizing Supercritical CO2 - Surfactant - Co Solvent Mixtures
- 발행기관 서강대학교 대학원
- 지도교수 유기풍
- 발행년도 2006
- 학위수여년월 200602
- 학위명 석사
- 학과 및 전공 화학공학
- 식별자(기타) 000000095211
- 본문언어 한국어
