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ICP-RIE에서 공정변수에 따른 식각품질에 대한 연구 : A parametric study on the etching profile changes in ICP-RIE

  • 발행기관 서강대학교 대학원
  • 발행년도 2003
  • 학위수여년월 2003년 8월 졸업
  • 학위명 석사
  • 학과 및 전공 기계공학전공
  • 식별자(기타) 000000083660
  • 본문언어 한국어
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