산화 실리콘 기판 위에 PLD방법으로 제작된 MFIS-FET 강유전체 메모리용 Bi3.25La0.75Ti3O12 박막의 증착과 전기적 특성에 관한 연구 : Study on Deposition and Electrical Properties of Bi3.25La0.75Ti3O12 Thin Films Deposited on Oxidaized Si Substrate by PLD for MFIS-FET Type Ferroelectric Memory Devices
- 발행기관 서강대학교 대학원
- 지도교수 박광서
- 발행년도 2005
- 학위수여년월 200502
- 학위명 석사
- 학과 및 전공 물리
- 식별자(기타) 000000081593
- 본문언어 한국어
