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화학결합이 가능한 나노 입자를 이용한 나노기공 초저유전체의 제조 : Nanoporous Ultra-low Dielectric Prepared by Chemically Reactive Nanoparticular Porogens

  • 발행기관 서강대학교 대학원
  • 지도교수 이희우
  • 발행년도 2005
  • 학위수여년월 200502
  • 학위명 석사
  • 학과 및 전공 화학공학
  • 식별자(기타) 000000081163
  • 본문언어 한국어